版权归北京华鲁佳奥净化科技发展有限公司所有
中企动力提供技术支持 京ICP备案号1154771
影响洁净实验室的气流因素
2019/04/22 08:47
浏览量：
【摘要】：
影响洁净实验室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材料、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。